产品简介:
它是一种多室型溅射装置,可以配备多个处理室(*多3个腔室200E,*多5个腔室200J和*多7个腔室200)
产品特性:
? 可运输Φ200mm板
? 作为处理室的各种模块的阵容
? 介电模块
? 高温成膜模块
? 精密分配模块
? 蚀刻模块
产品应用:
? 电子零件
? 微机电系统
? 动力装置
? 发光二极管
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它是一种多室型溅射装置,可以配备多个处理室(*多3个腔室200E,*多5个腔室200J和*多7个腔室200)
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? 可运输Φ200mm板
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